气动隔膜泵的应用-光宇拉线编码器

用于低温溶液(如5℃以下)的气动隔膜泵，不适宜采用PP材料的隔膜泵，可选用PVDF或其他材质泵。　(1)用于超纯水及化学药液的供给。作为动力源，与阀门、管道、流量计等组成自动供液系统，用于化学液配、补液，通常化学药液为常温强酸、强碱、有机等溶液。与DI水加热储液槽、阀门、管道等组成设备热DI水供应系统，以满足机台对热水的需求。(2)废液回收。药液温度不高或通过降温槽降温后，利用隔膜泵、阀门、管道组成废液回收系统，将废液收集至废液桶或直接排入厂务排酸管道中。(3)药液循环。与循环溢流槽、阀门、管件、过滤器等组成过滤循环系统，实现药液的循环过滤，均匀流场。由于隔膜泵在连续不间断工作时膜片使用寿命较短，更换膜片较频繁，目前这种应用方式逐渐被风囊泵所取代。湿法腐蚀清洗设备中气动隔膜泵常用的流量为20～50L/min。根据使用的化学药液不同，可选用泵体的材料为：不锈钢(可用于有机溶液，浓度较低的弱碱，水等);PP(水，使用温度较低的酸碱液，部分有机溶液);PVDF(温度较高，较强的酸溶液，由于PVDF耐碱性相对较弱，一般不用于强碱溶液)。